Fabrikation und Integration von mechanisch-optischen Strukturen zur Kopplung von VCSELs mit Glasfasern


Wohlfeld, Denis ; Brenner, Karl-Heinz



URL: https://www-alt.gsi.de/documents/DOC-2007-Jul-4-1....
Dokumenttyp: Konferenzveröffentlichung
Erscheinungsjahr: 2005
Buchtitel: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 : 10. bis 12. Oktober 2005 in Freiburg
Titel einer Zeitschrift oder einer Reihe: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 : 10. bis 12. Oktober 2005 in Freiburg
Seitenbereich: 167-169
Ort der Veröffentlichung: Berlin [u.a.]
Verlag: VDE-Verl.
ISBN: 3-8007-2926-1 , 978-3-8007-2926-5
Sprache der Veröffentlichung: Deutsch
Einrichtung: Fakultät für Wirtschaftsinformatik und Wirtschaftsmathematik > Optoelektronik (Brenner 1999-2008)
Fachgebiet: 004 Informatik
Normierte Schlagwörter (SWD): Glasfaser , Kopplung <Elektronik> , Lithographie , VCSEL-Laser
Freie Schlagwörter (Englisch): coupling , fibre , lithography




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