Doppelbelichtung und Replikation von Mikrostrukturen für die optische Informationsverarbeitung


Wohlfeld, Denis ; Scheffelmeier, S. ; Brenner, Karl-Heinz


URL: http://www.dgao-proceedings.de/download/107/107_p5...
Document Type: Conference or workshop publication
Year of publication: 2006
The title of a journal, publication series: DGaO-Proceedings : Wissenschaftliche Online-Zeitschrift der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik
Volume: 107
Place of publication: Erlangen-Nürnberg
Publishing house: Dt. Ges. für Angewandte Optik
ISSN: 1614-8436
Publication language: German
Institution: School of Business Informatics and Mathematics > Optoelektronik (Brenner)
Subject: 004 Computer science, internet
Abstract: Für eine kostengünstige Replikation von Mikrostrukturen muss die Entformbarkeit der Strukturen gewährleistet sein. Das Konzept der Doppelbelichtung für die UV-Tiefenlithographie ermöglicht die Herstellung von entformbaren, hochkompakten optisch-passiven Mirkrostrukturen.
Additional information: Online Ressource

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Wohlfeld, Denis ; Scheffelmeier, S. ; Brenner, Karl-Heinz Doppelbelichtung und Replikation von Mikrostrukturen für die optische Informationsverarbeitung. DGaO-Proceedings : Wissenschaftliche Online-Zeitschrift der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik 107 (2006) Erlangen-Nürnberg [Conference or workshop publication]


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