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Integrated Guiding Structures for automatic Alignment of micro optical Components
Krackhardt, Ulrich
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Brenner, Karl-Heinz
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Dokumenttyp:
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Konferenzveröffentlichung
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Erscheinungsjahr:
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2001
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Buchtitel:
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Gradient index, miniature, and diffractive optical systems II : 2 - 3 August 2001, San Diego, USA
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Titel einer Zeitschrift oder einer Reihe:
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Proceedings of SPIE
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Band/Volume:
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4437
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Seitenbereich:
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91-98
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Herausgeber:
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Suleski, Thomas J.
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Ort der Veröffentlichung:
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Bellingham, Wash.
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Verlag:
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SPIE
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ISBN:
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0-8194-4151-1
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Sprache der Veröffentlichung:
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Englisch
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Einrichtung:
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Fakultät für Wirtschaftsinformatik und Wirtschaftsmathematik > Optoelektronik (Brenner 1999-2008)
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Fachgebiet:
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004 Informatik
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Freie Schlagwörter (Englisch):
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alignment , fabrication , guiding , integration , Micro-optics
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Abstract:
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A novel technique for the realization of guiding structures for passive/automatic alignment is proposed. The technique is based on a recently available special photoresist. This photoresist can be processed by standard lithographic processes and shows a mechanical stability close to glass. Guiding structures may thus be realized in the same process as the functional structures on a substrate. We discuss the material behavior in terms of processing, change of shpe due to shrinking or swelling and shear stability. First results of accuracy experiments ar shown. as an example we demonstrate fiber ferrules for horizontal and for vertical mounting. We also show alignment structures for fiber/fiber coupling.
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