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2000

Brenner, Karl-Heinz Development of modules for micro optical integration and MOEMS packaging. Motamedi, M. Edward Proceedings of SPIE 4178 138-140 In: MOEMS and miniaturized systems : 18 - 20 September 2000, Santa Clara, USA (2000) Bellingham, Wash. [Konferenzveröffentlichung]

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