UV-Tiefenlithographie mit Zweiphasenbelichtung zur Herstellung von replizierbaren optischen Verbindungsstrukturen

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Dokumenttyp:	Konferenzveröffentlichung
Erscheinungsjahr:	2006
Titel einer Zeitschrift oder einer Reihe:	Tagungsband : 9. Workshop Optik in der Rechentechnik, 27.10.2006 / University of Mannheim, Mannheim, Germany
Herausgeber:	Griese, E.
Ort der Veröffentlichung:	Mannheim
Verlag:	Univ.
ISSN:	1437-8507
Sprache der Veröffentlichung:	Deutsch
Einrichtung:	Fakultät für Wirtschaftsinformatik und Wirtschaftsmathematik > Optoelektronik (Brenner 1999-2008)
Fachgebiet:	004 Informatik
Normierte Schlagwörter (SWD):	optische Verbindungsstrukturen