UV-Tiefenlithographie mit Zweiphasenbelichtung zur Herstellung von replizierbaren optischen Verbindungsstrukturen


Wohlfeld, Denis ; Brenner, Karl-Heinz



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Document Type: Conference or workshop publication
Year of publication: 2006
The title of a journal, publication series: Tagungsband : 9. Workshop Optik in der Rechentechnik, 27.10.2006 / University of Mannheim, Mannheim, Germany
Author/Publisher of the book
(only the first ones mentioned)
:
Griese, E.
Place of publication: Mannheim
Publishing house: Univ.
ISSN: 1437-8507
Publication language: German
Institution: School of Business Informatics and Mathematics > Optoelektronik (Brenner)
Subject: 004 Computer science, internet
Subject headings (SWD): optische Verbindungsstrukturen

Dieser Eintrag ist Teil der Universitätsbibliographie.




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Wohlfeld, Denis ; Brenner, Karl-Heinz UV-Tiefenlithographie mit Zweiphasenbelichtung zur Herstellung von replizierbaren optischen Verbindungsstrukturen. Griese, E. Tagungsband : 9. Workshop Optik in der Rechentechnik, 27.10.2006 / University of Mannheim, Mannheim, Germany (2006) Mannheim [Conference or workshop publication]


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