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Fabrication of alignment structures for a fiber resonator by use of deep-ultraviolet lithography
Liu, Xiyuan
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Brenner, Karl-Heinz
;
Wilzbach, Marco
;
Schwarz, Michael
;
Fernholz, Thomas
;
Schmiedmayer, Jörg
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Dokumenttyp:
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Zeitschriftenartikel
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Erscheinungsjahr:
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2005
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Titel einer Zeitschrift oder einer Reihe:
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Applied Optics
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Band/Volume:
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44
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Heft/Issue:
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32
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Seitenbereich:
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6857-6860
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Ort der Veröffentlichung:
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Washington, DC
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Verlag:
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OSA
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ISSN:
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0003-6935 , 2155-3165 , 1539-4522
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Sprache der Veröffentlichung:
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Englisch
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Einrichtung:
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Fakultät für Wirtschaftsinformatik und Wirtschaftsmathematik > Optoelektronik (Brenner 1999-2008)
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Fachgebiet:
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004 Informatik
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Abstract:
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We present a novel method to mount and align an optical-fiber based resonator on the flat surface of an atom chip with ultrahigh precision. The structures for mounting a pair of fibers, which constitute the fiber resonator, are produced by a spin-coated SU-8 photoresist technique by use of deep-UV lithography. The design and production of the SU-8 structures are discussed. From the measured finesses we calculate the coupling loss of the SU-8 structures are acting as a kind of fiber splice to be smaller than 0.013 dB.
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