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Fabrication of integrated structures for coupling VCSEL to fibre
Wohlfeld, Denis
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Brenner, Karl-Heinz
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URL:
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http://www.dgao-proceedings.de/download/106/106_b3...
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Dokumenttyp:
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Konferenzveröffentlichung
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Erscheinungsjahr:
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2005
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Titel einer Zeitschrift oder einer Reihe:
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DGaO-Proceedings : Wissenschaftliche Online-Zeitschrift der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik
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ISSN:
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1614-8436
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Sprache der Veröffentlichung:
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Englisch
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Einrichtung:
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Fakultät für Wirtschaftsinformatik und Wirtschaftsmathematik > Optoelektronik (Brenner 1999-2008)
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Fachgebiet:
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004 Informatik
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Abstract:
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Thick photoresist is used for realisation of high quality opto-mechanical structures. In order to achieve a higher level of integration, optical functions like deflection should be included. By inclined exposure of the resist, we fabricated bevelled structures. One application is a combined fibre mount and coupling structure.
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Zusätzliche Informationen:
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Online Ressource
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