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Realisierung abbildender Mikrooptiken durch Ionenaustauschtechniken in Glas
Bähr, Jochen
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Brenner, Karl-Heinz
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Dokumenttyp:
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Buchkapitel
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Erscheinungsjahr:
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2002
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Buchtitel:
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Handbuch Mikrooptik
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Seitenbereich:
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347 - 406
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Herausgeber:
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Ehrfeld, Wolfgang
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Ort der Veröffentlichung:
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München
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Verlag:
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Hanser
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ISBN:
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3-446-21506-9
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Sprache der Veröffentlichung:
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Deutsch
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Einrichtung:
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Fakultät für Wirtschaftsinformatik und Wirtschaftsmathematik > Optoelektronik (Brenner 1999-2008)
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Fachgebiet:
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004 Informatik
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Abstract:
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Der vorliegende Beitrag beschäftigt sich mit der Nutzung des Silber-Natrium-Ionenaustausches zur Realisierung abbildender mikrooptischer Komponenten in planarem Substratglas. Im Vergleich zu vielen alternativen Ionenaustauschverfahren stellt der Silber-Natrium-Austausch einen relativ ungiftigen und daher einfach zu handhabenden Prozess dar, der in der Literatur gut beschrieben ist. Die Planarität der Glassubstrate bietet viele Vorteile in der Handhabung und erlaubt Vereinfachungen im weiteren Systemaufbau ...
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