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Brenner, Karl-Heinz Three-dimensional micro-integration of optical systems. WEH-Seminar 274 In: Microoptics - from Technology to Applications : 274. WE-Heraeus-Seminar on Microoptics, Bad Honnef, 22. - 24.04.2002 (2002) Berlin [u.a.] [Konferenzveröffentlichung]

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