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Wohlfeld, Denis ; Scheffelmeier, S. ; Brenner, Karl-Heinz Doppelbelichtung und Replikation von Mikrostrukturen für die optische Informationsverarbeitung. DGaO-Proceedings : Wissenschaftliche Online-Zeitschrift der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik 107 (2006) Erlangen-Nürnberg [Konferenzveröffentlichung]

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